加熱防腐型勻膠機(jī)

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一、技術(shù)原理與核心參數(shù)

加熱防腐型旋轉(zhuǎn)涂覆儀采用聚四氟乙烯腔體，外觀美觀堅(jiān)固，具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性和極強(qiáng)的耐腐蝕性，能夠用于各種需要抗酸堿和有機(jī)溶劑的場(chǎng)合。儀器采用先進(jìn)的精密電機(jī)，轉(zhuǎn)速能達(dá)到12000轉(zhuǎn)/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到200℃，由智能溫控表控溫，溫度測(cè)定準(zhǔn)確，升溫過(guò)程完全可控。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預(yù)設(shè)勻膠曲線，大大簡(jiǎn)化了使用過(guò)程降低了學(xué)習(xí)成本，十分適合實(shí)驗(yàn)室選購(gòu)。

 

二、關(guān)鍵性能參數(shù)

‌項(xiàng)目‌	‌參數(shù)要求‌
控制系統(tǒng)‌	PLC控制系統(tǒng)
操作界面‌	彩色7寸觸摸屏，中英文切換‌
速度范圍	0~12000rpm，精度±1
加速度	100~8000rpm/s（空載）
腔體材質(zhì)	聚四氟乙烯
加熱溫度	室溫+200℃‌
傳動(dòng)機(jī)構(gòu)	精密電機(jī)+驅(qū)動(dòng)器和高精度步進(jìn)電機(jī)，傳動(dòng)穩(wěn)、噪音??；
控溫方式	AIP智能控溫
滴膠方式	精密注射泵(0.01~5ml，精度±1%，防回流設(shè)計(jì)）
勻膠曲線	每條曲線1000段，共可儲(chǔ)存30條曲線
數(shù)據(jù)	支持USB導(dǎo)出數(shù)據(jù)
抽氣接口	φ6mm快擰接口
無(wú)油真空泵	50L/min，
勻膠吸盤(pán)	Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四氟材質(zhì)
打印機(jī)	嵌入式微型打印機(jī)
電壓電流	AC220V，50Hz
外形尺寸	310mm×365mm×350mm
重量	15kg

 

三，應(yīng)用領(lǐng)域

‌光電子學(xué)領(lǐng)域‌：用于制備太陽(yáng)能電池、有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）、有機(jī)太陽(yáng)能電池（OPV）等器件的薄膜涂層‌；

‌半導(dǎo)體與微電子制造‌：適用于光刻膠旋涂、晶圓表面涂布等工藝，支持最大12英寸晶圓處理‌；

‌材料科學(xué)‌：可制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物及聚合物等材料的均勻薄膜，尤其適合需要抗酸堿和有機(jī)溶劑的實(shí)驗(yàn)環(huán)境‌；

‌生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域‌：用于生物傳感器、生物芯片的涂層制備，聚四氟乙烯腔體設(shè)計(jì)確?；瘜W(xué)穩(wěn)定性與耐腐蝕性‌；

‌納米科技‌：支持納米材料與納米薄膜的制備，高精度控溫（室溫-200℃）和轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)（10-12000轉(zhuǎn)/分鐘）保障工藝穩(wěn)定性‌。

 

 

四、基礎(chǔ)操作流程

‌A、安裝與準(zhǔn)備‌

‌連接設(shè)備‌

連接真空泵氣管與電源線，確保螺帽擰緊‌。

插入設(shè)備電源線并打開(kāi)總開(kāi)關(guān)‌。

‌安裝吸盤(pán)與片托‌

根據(jù)樣品尺寸選擇吸盤(pán)，對(duì)準(zhǔn)槽口安裝并固定螺絲‌。

將片托凹槽對(duì)準(zhǔn)電機(jī)軸頂絲垂直放置‌。

B、參數(shù)設(shè)置‌

‌選擇勻膠方案‌

進(jìn)入操作界面，選擇預(yù)設(shè)方案（如5段式參數(shù)）或自定義參數(shù)‌。

‌設(shè)置轉(zhuǎn)速、時(shí)間與加速度‌

示例：第一段速度2000轉(zhuǎn)/分鐘，時(shí)間20秒，加速度2000‌1。

分段設(shè)置（如第二段3500轉(zhuǎn)/分鐘，第三段10000轉(zhuǎn)/分鐘）‌。

‌溫度控制（如需加熱）‌

設(shè)置溫度范圍（0-200℃），支持手動(dòng)或自動(dòng)加熱模式‌。

C、旋涂操作‌

‌放置樣品‌

將基片居中放置于片托，啟動(dòng)真空泵吸附固定‌。

‌啟動(dòng)勻膠‌

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定后注入膠液，程序自動(dòng)分段執(zhí)行‌。

‌完成與清潔‌

等待轉(zhuǎn)速歸零，關(guān)閉真空泵并取出樣品‌。

定期清潔抽氣孔（滴酒精維護(hù)）‌。

D、注意事項(xiàng)‌

‌防腐設(shè)計(jì)‌：聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕，避免接觸強(qiáng)氧化劑‌。

‌安全防護(hù)‌：加熱模塊高溫，操作時(shí)勿觸碰‌。

 

五、儀器特點(diǎn)

‌1.防腐設(shè)計(jì)‌

腔體材質(zhì)采用‌聚四氟乙烯（PTFE）‌或‌聚丙烯（PP）‌，抗強(qiáng)酸、強(qiáng)堿及有機(jī)溶劑腐蝕‌。

部分機(jī)型配備‌防濺廢料罐‌和‌排液管‌，防止腐蝕性液體污染環(huán)境‌。

‌2.加熱與溫控功能‌

加熱范圍覆蓋‌室溫至200℃‌，控溫精度±1-2℃，適用于高溫工藝（如光刻膠烘烤）‌。

支持‌分段控溫‌，部分機(jī)型集成‌抽廢氣功能‌，確保工藝穩(wěn)定性‌。

‌3.高精度勻膠性能‌

轉(zhuǎn)速范圍‌10-20000轉(zhuǎn)/分鐘‌，電機(jī)采用無(wú)刷伺服或德國(guó)進(jìn)口電機(jī)，保障薄膜均勻性（厚度誤差±1%）‌。

部分機(jī)型支持‌正反轉(zhuǎn)旋涂‌和‌分段編程‌，優(yōu)化復(fù)雜工藝需求‌。

‌4.智能化操作‌

配備‌觸摸屏控制‌、藍(lán)牙通信及PC端遠(yuǎn)程控制軟件，支持配方存儲(chǔ)與掉電保護(hù)‌。

實(shí)時(shí)顯示‌轉(zhuǎn)速曲線‌、吸附力及報(bào)警功能（如進(jìn)膠保護(hù)、吸附不足互鎖）‌。

‌5.安全與兼容性‌

透明耐腐蝕蓋板（丙烯酸材質(zhì)）隔絕有毒氣體，部分機(jī)型適配手套箱使用‌。

適配半導(dǎo)體、光電子等領(lǐng)域‌。

 

 六、配置清單

主機(jī)1臺(tái)；

測(cè)試軟件1套；

說(shuō)明書(shū)1份;

合格證1份;

保修卡1份;

簽收單1份;

銘牌1塊;

電源線1根;

扳手1套;

宣傳冊(cè)若干;